晶体生长设备及系统集成国家地方联合工程研究中心（以下简称“工程中心”）是2009年经国家发展和改革委员会批准设立的国家级晶体生长设备、工艺及相关技术科技创新成果推广平台。该中心依托西安理工大学并与多家国内外相关企业实现共建。

2009年至2013年，中心承接并完成了国家科技重大专项02专项子题“300mm硅单晶直拉生长装备的开发”项目。实现了65nm集成电路用高端硅晶体生长设备的国产化。

国家科技重大专项02专项TDR-120型单晶炉

2012年工程中心在多年技术积累的基础上，申报“大尺寸电子级硅单晶炉关键技术及其应用”项目，获得国家科学技术发明二等奖。标志着中心相关科研成果达到了国内领先技术水平。

工程研究中心基于前期发明并制造，与国内知名半导体生产企业（西安奕斯伟材料科技有限公司）合作开展产学研工作。2020年12月23日，由中心主任刘丁教授团队研制的新一代大尺寸集成电路硅单晶生长设备在西安奕斯伟大硅片生产基地产线实现一次试产成功。为实现我国在集成电路硅材料关键技术与核心工艺产业化方面取得新突破、解决在半导体大硅片领域的“卡脖子”问题做出了重要贡献。

科技日报报道

工程研究中心以“大尺寸电子级硅单晶炉”24件专利以及7项专有技术为核心，以评估作价方式与“西安奕斯伟材料技术有限公司”合作组建“西安奕斯伟设备技术有限公司”实施产业转化。

目前工程中心晶体生长设备领域已获得授权专利40余项，软件著作权10余件。发表了百余篇高水平学术论文。形成了系列化高端晶体生长设备的研制能力。

2022年中心在完成国家自然科学基金重点项目的基础上，再次成功获批国家重大科研项目——“半导体硅单晶生长数字孪生与品质管控系统”，为深入开展晶体生长领域的基础理论研究创造了条件。

国家重大科研仪器研制项目

工程中心长期与北京有色金属研究总院、北京有研半导体股份有限公司、西安奕斯伟半导体材料公司、德国CGS公司等国内外知名研究机构保持合作与交流，要求专家到中心进行专题讲座和技术交流。工程中心积极参加各类国际学术会议、国内外晶体生长装备的博览会，保持与前沿高端技术的信息沟通与交流。

工程中心的宗旨为：针对晶体生长设备和工艺中的重大关键性和共性技术问题，利用高校多学科综合、人才密集的优势，面向市场和产业，实行开放服务，持续不断地将具有重要应用前景的科技成果进行系统化和工程化集成，推动晶体生长设备领域的科技进步，建设一流的具有工程化实验条件的科研开发、技术创新和产业化基地。