陕西省新型半导体材料与设备工程研究中心于1998 年9月经陕西省原计划委员会和科学技术委员会联合批准成立,依托西安理工大学,面向全省开展新型半导体材料生长工艺及设备的研究、开发、技术转化和产业化推进,覆盖微电子学与固体电子学,材料物理与化学,物理电子学,机械电子工程以及检测技术与自动化装置等学科。
半导体材料是信息产业的基础,是典型的高新技术产品。对半导体材料及其生长工艺与设备的研究与开发,是西安理工大学教学、科研的特色领域之一;在为社会创造了巨大的物资财富和经济效益的同时,培养了大批高层次工程技术人才。40余年成绩显著的实践,也为学校造就了一支治学严谨并富于创新精神的学术和技术开发队伍,在国内新型半导体晶体生长工艺及设备的研究开发领域处于领先地位。
负责人: 陈治明
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